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一體式CVD系統設計緊湊，使用方便。特別是豐富的圖文界面，即使您是**操作，該系統也能順利引導您很快掌握該CVD系統的使用和操作，您根本無需專業學習，為您節省大量的科研時間，真正做到事倍功半！
產品特點：
1、豐富的圖文信息：全尺寸液晶圖文界面
2、系統高度集成：各個部分均由軟件協同進行數據采集、交換、處理、輸出
3、可使實驗步驟程序化、自動化
技術參數：
項目
明細
供電電壓
AC220V，50Hz
MAX功率
5KW
加熱溫區
220mm+440mm+220mm
工作溫度
1100℃ （1200℃＜1h）
控溫精度
±1℃
升溫速率
建議≤10℃/min
控溫方式
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條
三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護
爐管材質
高純石英
爐管尺寸
φ60mm O.D×1300mm L
氣體通道
三通道質量流量計
氣體量程
A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系統真空
5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）
