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單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD石墨烯制備
單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD，安裝有真空自動(dòng)投料器，爐管尾部預(yù)留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進(jìn)料，可以以額定的速率將粉料送入爐管，投料速率可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速來更改。可實(shí)現(xiàn)在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用PECVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的料粉進(jìn)行收集。
設(shè)備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產(chǎn)生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面，有效的增強(qiáng)反應(yīng)效果，提高反應(yīng)速率，這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備，顆粒包覆等科學(xué)實(shí)驗(yàn)上。
本設(shè)備特別適合顆粒型樣品實(shí)驗(yàn)，通過機(jī)械傳動(dòng)能夠控制工作管360°不間斷連續(xù)旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)，使得管內(nèi)物料不斷的被攪拌混合，充分與氣體和等離子體接觸，使樣品的反應(yīng)更加均勻穩(wěn)定。
技術(shù)參數(shù)：
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射頻電源
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輸出功率 |
150W |
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輸出精度 |
±1% |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻穩(wěn)定度 |
±0.005% |
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冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
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1200℃單溫區(qū)管式爐
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
2KW |
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加熱溫區(qū) |
單個(gè)溫區(qū)200mm |
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工作溫度 |
*高1200℃，連續(xù)運(yùn)行溫度應(yīng)≤1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區(qū)獨(dú)立控制，帶有過熱和斷偶保護(hù) |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
φ50x800mm |
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密封方式 |
真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭 |
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可調(diào)轉(zhuǎn)速 |
0-20rpm |
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傾斜角度 |
0-15° |
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真空泵 |
旋片機(jī)械泵 |
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極限真空度 |
1.0E-1Pa |
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進(jìn)料方式 |
真空漏斗加螺桿進(jìn)料 |
